臭氧消毒機理是：臭氧中的原子態氧有強烈的氧化作用，能將細菌的細胞壁（膜）破壞，使其不能繁殖。也能浸透細胞壁，進入細菌內部破壞其新陳代謝必須的原酶。

　　臭氧會進入細菌的細胞壁。當空氣濕度高，細菌的細胞壁會被軟化，臭氧容易浸入細胞壁和細胞內部，氧化破壞細菌原酶，殺滅細菌，所以，當空氣濕度高時臭氧殺菌效果好。

　　但是特別要指出的是，空氣源臭氧發生器特別是沿面放電的臭氧發生器，其氣源就是室內空氣，如果濕度高明顯降低臭氧發生量，所以這是一對矛盾。